離子滲氮是在真空爐體內(nèi)，通過稀薄氣體放電，形成由離子、電子和中性粒子所構(gòu)成的局部電離狀態(tài)，這些都是在輝光離子滲氮爐中進行的，那如何獲得等離子體呢？
我們想要獲得等離子體，就需要使中粒子電離，使中性粒子電離的方法由很多，包括：低氣壓氣體放電獲得等離子體，離子氮化爐就是這種方法；利用高能粒子的方法；利用電磁波能量的方法。等離子體在宏觀角度上它是電中性的，等離子體就是電離的氣體，其中電子和離子的電荷總數(shù)基本相等，所以可以認為是中性的，等離子體的導(dǎo)電率比較高，它雖然是電中性的，但里面包含了大量的電子離子，且濃度很高，所以具有很好的導(dǎo)電性。
離子滲氮也有很多的優(yōu)點：一、滲氮速度快，等離子體可以是工件表面活化，加速吸收，可以大大縮短滲氮的時間；滲層組織易于控制脆性??；工件變形小，滲氮的速度快，滲氮的時間短，在低溫下進行的，所以產(chǎn)品一般不會產(chǎn)生太大的變形，不會影響到后續(xù)的使用；節(jié)能，省氣，因為它的滲氮時間短，擴散的也比較快，所以可以節(jié)省電能。